湖北大学高温探针台等设备进口产品专家论证公示

发布日期:2018-07-02发布单位:湖北大学来源:

湖北大学为了满足教学、科研的需求,拟需采购一批进口设备,预算金额78万元,现将申请采购进口产品的专家论证意见进行公示。

  1. 项目名称:

湖北大学2017省部共建铁电压材料与器件实验室设备采购项目

二、采购内容

序号

品名

数量

进口理由

1

高温探针台

1

高温探针台是一种机械式仪器,其探针臂和探针能够自由移动并可接触到半导体器件和晶片,并具备防震功能。通过准确地探测样品发送和读取电学信号,使其完成精准的测量。优越的应用灵活性使得EPS能满足直流(DC)和交流(AC)测量、器件和晶圆表征测试(DWC)、失效分析(FA)、微米探测、MEMS和光学工程测量。高温探针台也能用作一个灵活的探头卡,实现wafer级的可靠性应用(WLR),能同时配备多达6个探针座。高温探针台满足目前课题组内关于阻变存储器(RRAM)的电学性能分析要求,其显微镜精准度高能达微米量级测量且测量误差小,能够进行直流(DC)和交流(AC)电学测量完全满足实验要求,国内其他课题组均采用此类探针台测量。

2

快速退火炉

1

真空快速退火炉(RTP)是一种通过红外反射及辐照在样品区域快速升温及温度控制,并且在一定的高温环境下对薄膜样品进行退火处理的工艺设备。其可提供:1、快速热退火、快速热氧化、快速热氮化; 2、硅化 、扩散 、化合物半导体退火;3、离子注入后退火、电极合金化、晶向化等快速热处理工艺;

3

光谱型椭偏仪

 

光谱椭偏技术是基于模型分析的,涉及到大量的匹配运算,这些运算在很大程度上依赖于计算机的发展和应用,所以光谱椭偏仪的快速发展是在1990年之后。国内的光谱椭偏生产商基本成立于2000年之后,发展迅速。在硬件设计和软件分析上取得了不小的进步。但与国际上的水平相比还有一定的差距。

 

二、论证公示:

1、公示期:公示期为201872日起至2018791730分止(五个工作日)。

2、公示目的:就项目需求的公正性与专业性征询各潜在供应商的意见,无论是否反馈意见均不影响供应商参与后期的采购活动。

3、联系事项

  人:湖北大学

 址:湖北省武汉市武昌友谊大道368

  人:张老师

 话:027-88661921

若在公示期间对专家组论证意见持有异议,请将相关意见以书面形式(加盖公章)提交至湖北大学并报至湖北省政府采购管理处。